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Nimmt man nun zwei passive Mikroventile und zusätzlich eine piezoelektrische Scheibe als Pumpmechanismuß so erhält man eine Mikropumpe mit dem Aufbau ähnlich einem Blasebalg: Wird die Membran durch anlegen einer Spannung an die piezoelektrische Scheibe so verformt daß das Volumen in der Kammer kleiner wird, so wird die Flüssigkeit durch Ventil V2 zum Auslaß gepreßt. Bei Wegfall der Spannung nimmt die Membran ihre ursprüngliche Form an das Volumen der Kammer vergrößert sich wieder, V2 schließt und über V1 wird Flüssigkeit angesaugt. Die Pumprate beträgt einige µl/min.
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