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Aufgrund der Fortschritte in der Halbleiterelektronik wurden Elektronenröhren immer stärker verdrängt. Die Mikromechanik jedoch biedet völlig neue Möglichkeiten der Vakuumelektronik, da sie die Herstellung miniaturisierter Feldemissionskathoden ermöglicht. Als Feldemmissionkathoden eignen sich besonders Metalspitzen mit kleinem Krümmungsradius an denen sich schon bei kleinen Spannungen große Feldstärken ausbilden. Es ist dadurch möglich die erforderliche Spannung auf einen Wert von 100 V zu senken. Das Bild zeigt eine miniaturisierte Triode:
Die Vorteile gegenüber der Halbleiterelektronik ergeben sich aus der Tatsache des Transports der Elektronen im Vakuum. Der Temperaturbereich ist uneigeschränkt nutzbar und es besteht eine sehr gute Resistenz gegenüber elektromagnetischer Stöhrstrahlung und Teilchenstrahlung. Es ergeben sich kurze Transitzeiten zwischen Kathode und Anode unterhalb von 1 ps aufgrund des kurzen Abstandes.
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