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Mikromechanische ventile


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Mikromechanische Ventile spielen bei der Realisierung von Mikrosystemen eine wichtige Rolle. Es gibt aktive und passive Ventile. Das Bild oben zeigt die Anordnung und den Aufbau eines aktiven (steuerbaren) Ventils. Der Ventildeckel ist an zwei Spiralarmen aufgehängt und kann elektrostatisch ausgelenkt werden und verschließt dann die darunterliegende Ätzgrube.
Bei diesem Aufbau kann das Medium in einer Richtung ungehindert fließen während es in der anderen Richtung sich selbst den Durchfluß sperrt indem die Zunge durch das Medium selbst auf den Einlaß gedrückt wird. Bei Fluß gegen die dargestellte Flußrichtung wird die Zunge durch das einströmende Medium gegen die untere Wand gedrückt und verschließt den Einlaß.

 
 




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