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Eine häufig verwendete Variante der Lichtmodulatoren sind die Mikroblenden. Hierbei handelt es sich um asymetrisch gelagerte Blenden, die durch Anlegen einer Spannung aus ihrer horizontalen in eine vertikale Lage gedreht werden können . Je nach Ausführungsform kann entweder die Blende hell und der Hintergrund dunkel sein oder umgekehrt, so daß man bei anlegen einer Spannung einen Wechsel von hell nach dunkel erkennen kann. Ordnet man nun genügend dieser Blenden neben- und übereinander an, so kann diese Struktur als Anzeige verwendet werden. Das Bild links zeigt einen Punkt des Rasters einer Anzeige bestehend aus fünf Blenden. Die herrausragenden Eigenschaften dieser Anzeige ist der äußerst geringe Energieverbrauch von 1 nJ/cm2 pro Zyklus, sowie die lange Lebens-dauer der Stege (>109 Schaltzyklen), die kurze Ansprechzeit (2ms), der große Temperatur-bereich (-150° bis +150°) und die niedrige Steuer-spannung von 10V sowie ein großes Kontrastverhältnis.
Ein System zum Ablenken und Positionieren von Lichtstrahlen stellt dieser thermo-mechanische Aktor dar. Ein Widerstand heizt an der gewünschten Biegestelle die Si-Zunge und die darüberliegende Goldschicht. Durch den unterschiedlichen thermischen Ausdehnungskoeffizienten der Materialien wird die Zunge nach unten ausgelenkt. Mit einer Steuerleistung von 250mW können Auslenkungenum bis zu 100 µm erzielt werden.
Eine weitere Möglichkeit ergibt sich mit einem Silizium-Drehspiegel. Hierbei ist ein Spiegel aus Si an zwei Torisionsbalken aufgehängt und kann durch Anlegen einer Spannung verstellt werden. Der Spiegel kann bei Resonanzfrequenz von 15 kHz max. Winkelauslenkungen von ±1° bei einer angelegten Spannung von 400V erreichen.
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