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Diese Systeme werden vor allem in der chemischen und biologischen Analytik eingesetzt. Da diese Systeme in der Herstellung sehr komplex sind soll hier nur ein Blutanalysesystem zur in vitro Bestimmung des pH-Wertes vorgestellt werden. Das Bild zeigt die Mikrozelle eines Blutanalysators. Er besteht im Wesentlichen aus einem Pyrexblättchen und einem Siliziumchip die durch Anodisches Bonden miteinander verbunden werden. Die wichtigsten Komponenten der Mikrozelle sind 4 Kanäle (Einlaß für die Elektrolytlösung, für die Kalibrierlösung, für die Blutprobe und ein Auslaßkanal), drei Ventile, die Sensorkammer und ein ionensensiver Feldeffekttransitor. Das Volumen der Sensorkammer beträgt 50 nl, das Gesamte Probenvolumen 10 µl.
Das interesanteste Teil des Analysators ist das Mikroventil zum schließen der Kanäle. Der Verschluß besteht aus einer Silikonkautschukfolie die mit einem Glaszylinder auf die Öffnung gedrückt wird und diese verschließt. Die Bewegung erfolgt mittels einer Spule aus SMA (Shape-Memory-Alloy) die im Ruhezustand durch eine Feder komprimiert wird. Wird Strom (1 A) durch die Spule geschickt erwärmt sie sich und geht in ihre ursprüngliche Form zurück, komprimiert die Feder und verschließt den Kanal. Diese Form eines Ventils ist in der Lage bis zu 1mm Hub zu verrichten. Nachteilig jedoch ist die große Zeitkonstante von einigen Sekunden, die zum Heizen des SMA benötigt wird.
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